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IT之家7月26日消息，隨著集成電路工藝向7nm及以下節(jié)點(diǎn)不斷推進(jìn)，13.5nm波長(zhǎng)的EUV光刻成為實(shí)現(xiàn)先進(jìn)芯片制造的核心技術(shù)。但EUV光源反射損耗大、亮度低等特點(diǎn)，對(duì)光刻膠在吸收效率、反應(yīng)機(jī)制和缺陷控制等方面提出了更高挑戰(zhàn)。

清華大學(xué)宣布，該校化學(xué)系許華平教授團(tuán)隊(duì)在極紫外（EUV）光刻材料上取得重要進(jìn)展——開發(fā)出一種基于聚碲氧烷（Polytelluoxane,PTeO）的新型光刻膠，為先進(jìn)半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料提供了新的設(shè)計(jì)策略。

▲聚碲氧烷：理想的EUV光刻膠材料

IT之家查詢發(fā)現(xiàn)，相關(guān)成果已于7月16日發(fā)表在《科學(xué)進(jìn)展》上（DOI:10.1126/sciadv.adx1918）。

該研究提供了一種融合高吸收元素Te、主鏈斷裂機(jī)制與材料均一性的光刻膠設(shè)計(jì)路徑，有望推動(dòng)下一代EUV光刻材料的發(fā)展，助力先進(jìn)半導(dǎo)體工藝技術(shù)革新。

清華表示，當(dāng)前主流EUV光刻膠多依賴化學(xué)放大機(jī)制或金屬敏化團(tuán)簇來(lái)提升靈敏度，但常面臨結(jié)構(gòu)復(fù)雜、組分分布不均、反應(yīng)容易擴(kuò)散，容易引入隨機(jī)缺陷等問題。

如何突破這些瓶頸，構(gòu)建理想光刻膠體系，成為當(dāng)前EUV光刻材料領(lǐng)域的核心挑戰(zhàn)。學(xué)界普遍認(rèn)為，理想的EUV光刻膠應(yīng)同時(shí)具備以下四項(xiàng)關(guān)鍵要素：

1）高EUV吸收能力，以減少曝光劑量，提升靈敏度；2）高能量利用效率，確保光能在小體積內(nèi)高效轉(zhuǎn)化為光刻膠材料溶解度的變化；3）分子尺度的均一性，避免組分隨機(jī)分布與擴(kuò)散帶來(lái)的缺陷噪聲；4）盡可能小的構(gòu)筑單元，以消除基元特征尺寸對(duì)分辨率的影響，減小線邊緣粗糙度（LER）。

長(zhǎng)期以來(lái)，鮮有材料體系能夠同時(shí)滿足這四個(gè)標(biāo)準(zhǔn)?，F(xiàn)在，許華平教授課題組基于團(tuán)隊(duì)早期發(fā)明的聚碲氧烷開發(fā)出一種全新的EUV光刻膠，滿足了上述理想光刻膠的條件。

聚碲氧烷的結(jié)構(gòu)與性能示意圖

在該項(xiàng)研究中，團(tuán)隊(duì)將高EUV吸收元素碲（Te）通過(guò)Te─O鍵直接引入高分子骨架中。碲具有除惰性氣體元素氙（Xe）、氡（Rn）和放射性元素砹（At）之外最高的EUV吸收截面，EUV吸收能力遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)光刻膠中的短周期元素和Zn、Zr、Hf和Sn等金屬元素，顯著提升了光刻膠的EUV吸收效率。

同時(shí)，Te─O鍵較低的解離能使其在吸收EUV后可直接發(fā)生主鏈斷裂，誘導(dǎo)溶解度變化，從而實(shí)現(xiàn)高靈敏度的正性顯影。這一光刻膠僅由單組份小分子聚合而成，在極簡(jiǎn)的設(shè)計(jì)下實(shí)現(xiàn)了理想光刻膠特性的整合，為構(gòu)建下一代EUV光刻膠提供了清晰而可行的路徑。

RNG力克HLE豪取3連勝 Chovy慘遭RNG瘋狂針對(duì)0-5開局

RNG隨后繼續(xù)在上路推進(jìn)，方便己方控制大龍區(qū)視野，為即將到來(lái)的第二條大龍做準(zhǔn)備，而HLE選擇了ALL IN強(qiáng)開，殺掉RNG下路雙人組后，占據(jù)大龍區(qū)視野__。但大龍出來(lái)的第一時(shí)間HLE沒有直接動(dòng)龍，先在野區(qū)蹲了一會(huì)，清理掉RNG殘留的視野后再選擇動(dòng)大龍-_。雖然成功Rush掉了大龍，但卻被RNG打出完美團(tuán)戰(zhàn)，打出1換4之后RNG后面會(huì)介紹。
在上一場(chǎng)對(duì)陣OMG的比賽中，作為接棒小虎的新中單Cryin，他用發(fā)條拿下了春季賽的第二個(gè)五殺，不管是對(duì)線的穩(wěn)健，還是在團(tuán)隊(duì)協(xié)作上，以及團(tuán)戰(zhàn)里面的輸出能力，至今為止他的表現(xiàn)都是可圈可點(diǎn)的！在這個(gè)賽季RNG老將也是隊(duì)長(zhǎng)的XIAOHU，他犧牲了自己前往上路，在上單位置里，也是把自己能做的全部做到了！如今看到Cryin這個(gè)等會(huì)說(shuō)_。

Rookie復(fù)刻RNG中單,首戰(zhàn)被Doinb擊敗!對(duì)線優(yōu)勢(shì),但團(tuán)戰(zhàn)被制裁

LPL季后賽第二場(chǎng)六進(jìn)四階段BO5的第一局比賽，V5中單復(fù)刻RNG選擇，拿下麗桑卓，Doinb則選出夢(mèng)魘，結(jié)果Rookie前期對(duì)線優(yōu)勢(shì)的情況下，多次團(tuán)戰(zhàn)被Doinb的夢(mèng)魘制裁，Doinb的這一手關(guān)燈先手配合猴子凱南進(jìn)場(chǎng)給V5制造了巨大的麻煩——。最終LNG戰(zhàn)隊(duì)是穩(wěn)扎穩(wěn)打，Light澤麗直接超神，成功拿下第一局比賽的勝利|-。先來(lái)介紹一下雙方第后面會(huì)介紹——。
兩場(chǎng)開局都是快速地拿下一血，而第二局還有所不同，在瑞茲一級(jí)交掉閃現(xiàn)的情況下，RNG戰(zhàn)隊(duì)選擇在之后，以野輔聯(lián)動(dòng)先手入侵野區(qū)，然后Ming用?？怂归W現(xiàn)跨越墻壁，WEI也越墻壁，快速配合Angel形成一個(gè)3打1的局面|。Angel也非常配合地準(zhǔn)備了一個(gè)暈眩，RNG再一次順利地完成擊殺。這兩波過(guò)后，UP是直接崩盤，兩局比賽等我繼續(xù)說(shuō)-|。

LOL:RNG整活小虎再度回歸中路,瑞茲正名之戰(zhàn)13殺全勝晉級(jí)!?？電競(jìng)...

本以為小虎回歸中單位置，RNG應(yīng)該是要整一些不一樣的英雄，但沒想到的是，就在亮了幾秒飛機(jī)之后，此時(shí)觀戰(zhàn)彈幕全在刷“虎九萬(wàn)”，結(jié)果最后換成了瑞茲，九萬(wàn)變兩千就在一瞬間！當(dāng)然了這也可能是回歸中單的Mid虎想要的證明之戰(zhàn)吧，在開局RNG就設(shè)計(jì)了一級(jí)團(tuán)入侵野區(qū)，PGG下路雙人組由于戰(zhàn)斗力實(shí)在太差，沒辦法接團(tuán)好了吧！
首先，就是上單位置的小虎，微笑表示，“小虎的賽事經(jīng)驗(yàn)對(duì)RNG的幫助非常關(guān)鍵，而且小虎可以稱之為加強(qiáng)版的馬老師，因?yàn)樗拇蚍ǚ浅F(tuán)隊(duì)性，但對(duì)線又很強(qiáng)||。同時(shí)，小虎的打法也是非常有靈性并非常擅長(zhǎng)將自己的優(yōu)勢(shì)輻射給隊(duì)友_?？梢赃@么說(shuō)，小虎是一個(gè)很會(huì)用腦子打比賽的人，他知道怎么去贏這個(gè)游戲。而且你永遠(yuǎn)沒有辦法是什么。

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