近期，半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域風(fēng)起云涌，國(guó)際巨頭與本土企業(yè)齊頭并進(jìn)，掀起了新一輪的發(fā)展浪潮。
全球光刻機(jī)霸主阿斯麥（ASML）發(fā)布亮眼財(cái)報(bào)，尖端HighNA光刻機(jī)正式發(fā)運(yùn)，預(yù)示先進(jìn)制程持續(xù)演進(jìn)。與此同時(shí)，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也頻傳捷報(bào)：奧松半導(dǎo)體重慶項(xiàng)目、舜宇?yuàn)W來(lái)臨港項(xiàng)目均迎來(lái)首臺(tái)光刻機(jī)成功搬入；先導(dǎo)科技集團(tuán)百億級(jí)半導(dǎo)體高端裝備制造基地落戶(hù)四川遂寧；此外，華海清科、華林嘉業(yè)等國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商則在離子注入、清洗等關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域取得重要突破并實(shí)現(xiàn)交付...阿斯麥?zhǔn)着_(tái)HighNA光刻機(jī)TWINSCANEXE:5200B已發(fā)運(yùn)7月16日，半導(dǎo)體設(shè)備巨頭ASML公布最新財(cái)報(bào)。數(shù)據(jù)顯示，2025年第二季度，ASML凈銷(xiāo)售額達(dá)77億歐元，處于此前營(yíng)收預(yù)測(cè)區(qū)間的高位；毛利率為53.7%，高于預(yù)期；凈利潤(rùn)為23億歐元。
據(jù)了解，ASML第二季度的新增訂單金額為55億歐元，其中23億歐元為EUV光刻機(jī)訂單。ASML總裁兼首席執(zhí)行官傅恪禮（ChristopheFouquet）表示，當(dāng)前人工智能依然是邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片領(lǐng)域主要的增長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)力。
在邏輯芯片市場(chǎng)，傅恪禮認(rèn)為，隨著客戶(hù)逐漸增加先進(jìn)制程芯片產(chǎn)能，今年邏輯芯片市場(chǎng)較2024年將實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)；而在存儲(chǔ)芯片領(lǐng)域，傅恪禮認(rèn)為，在人工智能爆發(fā)下，存儲(chǔ)芯片市場(chǎng)將保持強(qiáng)勁需求，尤其SK海力士、三星、美光等存儲(chǔ)廠商也在持續(xù)投資HBM和新一代內(nèi)存產(chǎn)品DDR5。
在財(cái)報(bào)中，HighNA光刻機(jī)TWINSCANEXE:5200B系統(tǒng)的出貨成為一大亮點(diǎn)。傅恪禮表示，“我們看到光刻機(jī)投資在晶圓廠總體投資中所占的比重持續(xù)保持強(qiáng)勁，尤其是在DRAM領(lǐng)域，而TWINSCANNXE:3800E的推出也進(jìn)一步鞏固了這一趨勢(shì)。與此同時(shí)，EUV光刻機(jī)的應(yīng)用正在按計(jì)劃推進(jìn)，其中包括高數(shù)值孔徑（HighNA）系統(tǒng)。本季度，我們發(fā)運(yùn)了首臺(tái)TWINSCANEXE:5200B系統(tǒng)?！?/p>
展望未來(lái)，ASML預(yù)計(jì)2025年第三季度凈銷(xiāo)售額在74億至79億歐元之間，毛利率介于50%至52%；預(yù)計(jì)2025年全年凈銷(xiāo)售額將同比增長(zhǎng)約15%，毛利率約為52%。奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目首臺(tái)光刻機(jī)成功搬入7月14日，重慶首個(gè)8英寸MEMS特色芯片IDM全產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目迎重大進(jìn)展，奧松半導(dǎo)體特色芯片產(chǎn)業(yè)基地迎來(lái)首臺(tái)光刻機(jī)成功搬入，這一進(jìn)展也意味著該項(xiàng)目全面進(jìn)入設(shè)備安裝調(diào)試的快車(chē)道。
奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目計(jì)劃總投資35億，包含8英寸特色傳感器芯片量產(chǎn)線(xiàn)、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線(xiàn)、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車(chē)規(guī)級(jí)傳感器可靠性檢測(cè)中心、產(chǎn)學(xué)研科研中心及奧松半導(dǎo)體研發(fā)辦公大樓等，技術(shù)能力覆蓋各類(lèi)MEMS特色工藝，可實(shí)現(xiàn)各類(lèi)MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。
據(jù)奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目負(fù)責(zé)人李忠介紹，接下來(lái)將陸續(xù)搬入用于晶圓制造、封裝測(cè)試、模塊生產(chǎn)、系統(tǒng)應(yīng)用等各類(lèi)工藝和輔助設(shè)備，全部設(shè)備計(jì)劃于月底前搬入完成，第2臺(tái)光刻機(jī)也將于8月搬入。待一期項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，將形成每月10000~20000片晶圓的產(chǎn)能。
目前，奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目正圍繞“7月光刻機(jī)進(jìn)場(chǎng)、8月底通線(xiàn)試產(chǎn)、第四季度產(chǎn)能爬坡并陸續(xù)交付客戶(hù)”的階段性目標(biāo)，同步推進(jìn)竣工驗(yàn)收、產(chǎn)能通線(xiàn)、工廠運(yùn)營(yíng)、良率提升和產(chǎn)品交付等工作。舜宇?yuàn)W來(lái)首臺(tái)核心光刻機(jī)遷入7月14日上午，舜宇?yuàn)W來(lái)微納光學(xué)（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“舜宇?yuàn)W來(lái)”）臨港項(xiàng)目首臺(tái)核心光刻機(jī)正式遷入。
資料顯示，舜宇?yuàn)W來(lái)技術(shù)成立于2019年，是舜宇光學(xué)科技旗下核心子公司，主要從事微納米結(jié)構(gòu)加工、衍射光學(xué)元件及相關(guān)產(chǎn)品的研究、開(kāi)發(fā)及制造；是專(zhuān)注在晶圓級(jí)微納光學(xué)加工的代表企業(yè)。產(chǎn)品類(lèi)型分為顯示光學(xué)、感知光學(xué)兩大類(lèi)，主要應(yīng)用于AR智能眼鏡、智能手機(jī)、掃地機(jī)器人等。
據(jù)官方資料，舜宇?yuàn)W來(lái)技術(shù)擁有自主的光學(xué)設(shè)計(jì)能力，配備有納米壓印、刻蝕全流程工藝設(shè)備，能夠?yàn)榭蛻?hù)提供產(chǎn)品設(shè)計(jì)、小試、量產(chǎn)、測(cè)試等一整套完整服務(wù)。并在浙江寧波、上海張江、上海臨港分設(shè)多條研發(fā)線(xiàn)與量產(chǎn)線(xiàn)。
值得一提的是，在首臺(tái)核心光刻機(jī)遷入的同時(shí)，舜宇?yuàn)W來(lái)還分別與上海天岳半導(dǎo)體、中微半導(dǎo)體簽訂了戰(zhàn)略合作協(xié)議，不僅開(kāi)啟了微納米光學(xué)領(lǐng)域和新材料領(lǐng)域兩家知名企業(yè)合作的新篇章，同時(shí)也啟動(dòng)了國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備在微納光學(xué)領(lǐng)域的在地協(xié)作?？偼顿Y106億元，先導(dǎo)科技集團(tuán)半導(dǎo)體高端裝備項(xiàng)目簽約落地四川遂寧近日，廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司與四川遂寧市安居區(qū)人民政府簽署項(xiàng)目合作協(xié)議，“先導(dǎo)科技集團(tuán)半導(dǎo)體高端裝備制造西南生產(chǎn)基地”正式簽約落地安居經(jīng)開(kāi)區(qū)。
據(jù)“遂寧發(fā)布”消息，該項(xiàng)目總投資106億元，計(jì)劃分兩期推進(jìn)，目標(biāo)是建設(shè)成為西南最大的半導(dǎo)體高端裝備及核心零部件標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品生產(chǎn)基地。該項(xiàng)目也是遂寧市3年來(lái)首個(gè)百億級(jí)產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。
據(jù)官方介紹，先導(dǎo)科技集團(tuán)是一家起源于稀散金屬，逐步發(fā)展至泛半導(dǎo)體高端材料、器件、模組、系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和回收服務(wù)高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、人工智能、半導(dǎo)體、微電子、新能源、5G、光通訊、光伏、LED照明、新型顯示、電子、醫(yī)藥醫(yī)療、動(dòng)物營(yíng)養(yǎng)等高成長(zhǎng)行業(yè)。
值得一提的是，今年5月22日，先導(dǎo)科技集團(tuán)還與上海臨港新片區(qū)管委會(huì)、臨港集團(tuán)簽署了項(xiàng)目投資協(xié)議，總投資50億元的“集成電路核心零部件及系統(tǒng)總部基地項(xiàng)目”正式落地臨港。據(jù)介紹，先導(dǎo)科技集團(tuán)計(jì)劃在臨港新片區(qū)建設(shè)集成電路核心零部件基地，包括質(zhì)量流量控制器、半導(dǎo)體核心金屬、真空系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)及微納加工、缺陷檢測(cè)及在線(xiàn)檢測(cè)等標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)線(xiàn)。
事實(shí)上，近年來(lái)，先導(dǎo)科技集團(tuán)持續(xù)深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域，形成了“材料-芯片-核心零部件-系統(tǒng)”在內(nèi)的半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈完整陣容。尤其是通過(guò)控股A股半導(dǎo)體設(shè)備廠商萬(wàn)業(yè)企業(yè)，進(jìn)一步深度布局半導(dǎo)體設(shè)備和零部件領(lǐng)域。
眾所周知，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下凱世通在國(guó)內(nèi)集成電路離子注入機(jī)設(shè)備市場(chǎng)占據(jù)舉足輕重的地位。據(jù)萬(wàn)業(yè)企業(yè)披露，2025年上半年，凱世通已向客戶(hù)交付了8臺(tái)集成電路離子注入機(jī)設(shè)備，一季度確認(rèn)了3臺(tái)設(shè)備驗(yàn)收。華海清科首臺(tái)12英寸低溫離子注入機(jī)順利出機(jī)7月14日，華海清科宣布，公司全資子公司芯崳半導(dǎo)體（上海）有限公司自主研發(fā)的首臺(tái)12英寸低溫離子注入機(jī)iPUMA-LT順利出機(jī)，發(fā)往國(guó)內(nèi)邏輯芯片制造領(lǐng)域龍頭企業(yè)。
據(jù)“華海清科”介紹，本次發(fā)往客戶(hù)端的低溫離子注入機(jī)可顯著提升片間重復(fù)性，提高芯片性能和良率。此外，該裝備還能有效抑制“隧道效應(yīng)”，實(shí)現(xiàn)更淺結(jié)深，在滿(mǎn)足晶圓代工廠量產(chǎn)需求的基礎(chǔ)上，為先進(jìn)制程的研發(fā)與量產(chǎn)提供了有力支持。
目前，華海清科已推出大束流離子注入機(jī)系列裝備，并積極布局中束流離子注入機(jī)及高能離子注入機(jī)等系列裝備，可滿(mǎn)足邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、功率半導(dǎo)體、CIS（圖像傳感器）以及硅片制造等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Ω哔|(zhì)量、大規(guī)模制造的嚴(yán)苛需求。華林嘉業(yè)碳化硅專(zhuān)用清洗設(shè)備交付近日，北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）成功向國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體企業(yè)交付了自主研發(fā)的濕法清洗設(shè)備集群。
據(jù)介紹，該設(shè)備將用于碳化硅外延及器件產(chǎn)線(xiàn)，助力其提升晶圓制造良率與產(chǎn)能效率。特別是在碳化硅功率器件領(lǐng)域，其優(yōu)異的耐高壓、耐高溫特性，使其成為電動(dòng)汽車(chē)、光伏逆變器等高端應(yīng)用的核心器件。
資料顯示，北京華林嘉業(yè)成立于2008年，主要從事半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體、新材料等領(lǐng)域?qū)I(yè)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及服務(wù)，公司產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)、硅材料、化合物半導(dǎo)體、光通信器件、功率器件、半導(dǎo)體照明、先進(jìn)封裝、光伏電池、平板顯示和科研等。
而在此前一個(gè)月，該公司還向蘇州邁姆思半導(dǎo)體科技有限公司成功交付了多款清洗設(shè)備。結(jié)語(yǔ)從ASML的全球領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)到國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備及制造項(xiàng)目的多點(diǎn)開(kāi)花，近期的一系列動(dòng)態(tài)清晰地勾勒出半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈蓬勃發(fā)展的脈絡(luò)。
國(guó)際巨頭憑借尖端技術(shù)持續(xù)引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向，而中國(guó)本土企業(yè)則在光刻機(jī)應(yīng)用、特色工藝產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)、關(guān)鍵設(shè)備國(guó)產(chǎn)化以及全產(chǎn)業(yè)鏈布局上邁出了堅(jiān)實(shí)步伐。這些密集的進(jìn)展不僅為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控注入澎湃動(dòng)能，也為全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的多元化發(fā)展增添了重要注腳。
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