卑良才
在半導體行業(yè)持續(xù)演進的進程中,先進封裝技術(shù)已一躍成為各大晶圓大廠激烈角逐的戰(zhàn)略要地。隨著摩爾定律逐漸逼近物理極限,傳統(tǒng)芯片制程微縮面臨重重挑戰(zhàn),先進封裝憑借其能夠在不依賴制程工藝提升的前提下,實現(xiàn)芯片高密度集成、體積微型化以及成本降低等顯著優(yōu)勢,完美契合了高端芯片向更小尺寸、更高性能、更低功耗發(fā)展的趨勢,從而成為延續(xù)摩爾定律和超越摩爾定律的關(guān)鍵路徑。
值得注意的是,近年來,除了風頭頗盛的CoWoS外,CoPoS、EMIB-T等新的先進封裝技術(shù)又被提出,主要晶圓大廠紛紛加快腳步,在先進封裝領(lǐng)域積極開啟新一輪技術(shù)布局和競爭。
01
臺積電:“化圓為方”引領(lǐng)封裝變革
臺積電作為半導體制造領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè),在先進封裝技術(shù)方面始終走在行業(yè)前沿。其推出的CoPoS(Chip-on-Package-on-Substrate)技術(shù),以“化圓為方”的創(chuàng)新性理念,徹底顛覆了傳統(tǒng)封裝模式。傳統(tǒng)的圓形晶圓在封裝過程中存在一定的局限性,而CoPoS技術(shù)直接將芯片排列在大型方形面板基板上進行封裝,這種設(shè)計堪稱對現(xiàn)有CoWoS-L或CoWoS-R技術(shù)的矩形化革新。
從技術(shù)層面深入剖析,CoPoS技術(shù)通過將傳統(tǒng)圓形晶圓改為310x310毫米方形設(shè)計,極大地提升了單位面積的利用率。經(jīng)測算,這一改進預計可降低約15%-20%的制造成本,成本優(yōu)勢十分顯著。在產(chǎn)能布局方面,臺積電規(guī)劃在嘉義AP7廠區(qū)構(gòu)建新一代先進封裝技術(shù)CoPoS的量產(chǎn)工廠,目標是在2028年底至2029年實現(xiàn)量產(chǎn)。嘉義AP7廠區(qū)的規(guī)劃充分彰顯了臺積電在先進封裝領(lǐng)域的系統(tǒng)性投入。該園區(qū)分階段建設(shè)8個產(chǎn)線單元,其中P4廠專門用于CoPoS量產(chǎn),P2/P3廠則優(yōu)先支持SoIC(晶圓級3D堆疊)技術(shù),P1廠為蘋果WMCM多芯片模組保留專屬產(chǎn)能。與傳統(tǒng)封裝重鎮(zhèn)南科AP8(主要聚焦CoWoS)相比,AP7廠區(qū)憑借更大的廠房空間以及更為完善的制程配套,將成為臺積電整合SoIC、CoPoS等前沿封裝技術(shù)的核心基地。
此外,臺積電被曝已在為2026年蘋果A20系列SoC(系統(tǒng)級芯片)的封裝,啟動了WMCM(Wafer-LevelMulti-ChipModule,晶圓級多芯片封裝)新工藝試生產(chǎn)準備工作。WMCM是一種在晶圓級將多顆芯片集成封裝的技術(shù),能夠在保持高集成度的同時,顯著縮小封裝體積并提升信號傳輸效率。
02
英特爾:EMIB-T技術(shù)的升級與拓展
英特爾在先進封裝領(lǐng)域同樣成果斐然,其推出的EMIB(EmbeddedMulti-DieInterconnectBridge)技術(shù),即嵌入式多芯片互聯(lián)橋,已經(jīng)成功投入生產(chǎn)。該技術(shù)突破了光罩尺寸的限制,實現(xiàn)了多芯片之間的高速互聯(lián)。在需要高密度互連的芯片部位,通過將硅片嵌入基板,形成高密度互連橋,而其他區(qū)域則通過基板進行互連。在同一個封裝內(nèi),甚至在同一個芯片的不同區(qū)域,EMIB互連和常規(guī)互連能夠共存,臺積電的CoWoS-L技術(shù)在一定程度上便是借鑒了EMIB技術(shù)。
在此基礎(chǔ)上,英特爾進一步推出了EMIB-T先進封裝技術(shù)。EMIB-T通過引入硅通孔(TSV)技術(shù),對芯片之間的電源傳輸和數(shù)據(jù)通信進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的EMIB相比,它摒棄了懸臂式的供電方式,而是借助封裝底部的TSV直接供電,這一改進有效地降低了電阻,從而能夠更好地支持像HBM4和HBM4e這樣的高性能內(nèi)存。同時,TSV技術(shù)還大幅增加了芯片間的通信帶寬,并且兼容UCIe-A互聯(lián)標準,數(shù)據(jù)傳輸速度超過32Gb/s。為了減少信號干擾,英特爾還在橋接器里加入了高功率的MIM電容器,確保信號傳輸更加穩(wěn)定可靠。
在2025IEEE電子器件技術(shù)大會(ECTC)上,英特爾分享了其封裝技術(shù)的最新進展。除了在供電穩(wěn)定性方面通過EMIB-T取得突破外,英特爾還計劃通過探索高精度、大光罩熱壓鍵合(TCB)的先進工藝來提高封裝的良率和可靠性。隨著封裝尺寸不斷增大,集成多芯片的復雜程度也同步提升,熱壓鍵合技術(shù)的應用將有助于應對這一挑戰(zhàn)。此外,隨著封裝變得越來越復雜,尺寸不斷增大,熱設(shè)計功耗(TDP)也在持續(xù)增加。為有效解決散熱難題,英特爾正在研發(fā)全新的分解式散熱器技術(shù),以及新一代熱界面材料。這些創(chuàng)新技術(shù)能夠更高效地將熱量從熱源傳遞到散熱器的各個部分,進而顯著提升整體的散熱效率,為高性能芯片的穩(wěn)定運行提供堅實保障。
03
聯(lián)電:加碼W2W3DIC先進封裝
晶圓代工大廠聯(lián)電在先進封裝領(lǐng)域也展現(xiàn)出積極進取的姿態(tài)。近期,聯(lián)電正考慮在南科收購瀚宇彩晶廠房,以大力推動其先進封裝技術(shù)的發(fā)展。盡管聯(lián)電對市場傳言未作出直接回應,但公司高層明確表示,未來在中國臺灣地區(qū)的產(chǎn)能規(guī)劃將持續(xù)擴展,尤其是在先進封裝領(lǐng)域?qū)⒓哟笸度搿?/p>
目前,聯(lián)電在新加坡已成功建立2.5D封裝產(chǎn)能,并掌握了晶圓對晶圓鍵合(Wafer-to-WaferBonding)技術(shù),該技術(shù)在3DIC制造中起著至關(guān)重要的作用。此外,聯(lián)電在南科運營的Fab12A廠自2002年開始量產(chǎn),現(xiàn)已順利導入14nm制程,專注于高階定制化制造。未來,聯(lián)電將依據(jù)業(yè)務(wù)發(fā)展與整體戰(zhàn)略規(guī)劃,充分結(jié)合既有的晶圓對晶圓鍵合技術(shù),持續(xù)在中國臺灣推進更完整的先進封裝解決方案。
針對未來擴產(chǎn)方向,劉啟東指出,聯(lián)電將不再局限于傳統(tǒng)晶圓代工,也將跨足先進封裝等高附加價值領(lǐng)域。目前公司在新加坡已建置2.5D封裝制程,并具備晶圓對晶圓鍵合(WafertoWaferBonding)技術(shù),這是一項可在原子級層面進行晶圓堆疊的關(guān)鍵工藝,廣泛應用于3DIC制造。聯(lián)電在中國臺灣的產(chǎn)線,也已具備該制程能力。
而就在去年,聯(lián)電共同總經(jīng)理王石曾表示,聯(lián)電的3DIC解決方案已獲得客戶采用,首個應用為射頻前端模組。聯(lián)電不僅在RFSOI特殊制程方面有望實現(xiàn)市占率的顯著增長,還會在內(nèi)嵌式高壓制程領(lǐng)域持續(xù)開拓客戶資源。在先進封裝領(lǐng)域,聯(lián)電除了提供2.5D封裝用的中間層(Interposer),還供應WoWHybridbonding(混合鍵和)技術(shù),首個采用該技術(shù)的案件來自其采用自家RFSOI制程的既有客戶。
去年12月,有消息稱,聯(lián)電奪得高通高性能計算(HPC)產(chǎn)品的先進封裝大單,預計將應用在AIPC、車用以及AI服務(wù)器市場,甚至包括HBM的整合。同時,這也打破了先進封裝代工市場由臺積電、英特爾、三星等少數(shù)廠商壟斷的態(tài)勢。聯(lián)電未對單一客戶做出回應,但強調(diào)先進封裝是公司重點發(fā)展的方向,并會與智原、矽統(tǒng)等子公司及存儲供應伙伴華邦共同打造先進封裝生態(tài)系統(tǒng)。
04
三星:SAINT技術(shù)構(gòu)建3D封裝新體系
三星在先進封裝領(lǐng)域同樣不甘落后,推出了SAINT(三星先進互連技術(shù))。SAINT技術(shù)體系涵蓋三種不同的3D堆疊技術(shù):用于SRAM的SAINT-S、用于邏輯的SAINT-L和用于在CPU或GPU等邏輯芯片之上堆疊DRAM的SAINT-D。三星的新型3D封裝方法別具一格,涉及將HBM芯片垂直堆疊在處理器頂部,這與現(xiàn)有的通過硅中介層水平連接HBM芯片和GPU的2.5D技術(shù)截然不同。這種垂直堆疊方法成功消除了對硅中介層的需求,但需要使用復雜的工藝技術(shù)制造用于HBM內(nèi)存的新基片。
在韓國國內(nèi)市場,三星積極擴充封裝設(shè)施。三星與忠清南道此前及天安市簽訂協(xié)議,計劃在天安建設(shè)一座先進的HBM封裝工廠,占地28萬平方米,并預計在2027年完成。此外,三星正在日本橫濱建設(shè)AdvancedPackagingLab(APL),專注于研發(fā)下一代封裝技術(shù)。該項目將致力于支持高價值芯片應用,如HBM、人工智能(AI)和5G技術(shù)。
05
AI和HBM推動先進封裝方案進步
不難發(fā)現(xiàn),晶圓大廠的先進封裝方案大多聚焦于HBM內(nèi)存堆疊。隨著人工智能技術(shù)的迅猛發(fā)展,對高帶寬內(nèi)存(HBM)的需求呈爆發(fā)式增長。HBM能夠提供極高的數(shù)據(jù)傳輸速率和帶寬,滿足AI芯片在處理海量數(shù)據(jù)時對內(nèi)存性能的嚴苛要求。先進封裝技術(shù)通過將HBM芯片與處理器芯片進行高效集成,能夠顯著提升芯片系統(tǒng)的整體性能和能效比。特別是HBM4的封裝方式正在從傳統(tǒng)的水平2.5D方法轉(zhuǎn)向垂直3D堆疊。
以臺積電為例,其先進封裝技術(shù)如CoWoS、CoPoS等,為HBM內(nèi)存與處理器的集成提供了可靠的解決方案。通過優(yōu)化封裝結(jié)構(gòu)和互連技術(shù),臺積電能夠?qū)崿F(xiàn)HBM與處理器之間的高速數(shù)據(jù)傳輸,降低傳輸延遲,從而提高AI芯片的運算效率。英特爾的EMIB-T技術(shù)以及三星的SAINT技術(shù),同樣在HBM內(nèi)存堆疊和集成方面具備獨特優(yōu)勢,能夠更好地支持高性能內(nèi)存,提升芯片間的通信帶寬和穩(wěn)定性。
從市場需求來看,人工智能應用的快速發(fā)展,如深度學習、大數(shù)據(jù)分析、自然語言處理等,對計算能力和內(nèi)存帶寬提出了前所未有的要求。AI芯片作為這些應用的核心驅(qū)動力,需要借助先進封裝技術(shù)將HBM內(nèi)存與處理器緊密集成,以實現(xiàn)更高的性能和更低的功耗。因此,各大晶圓大廠紛紛圍繞HBM內(nèi)存堆疊布局先進封裝方案,旨在滿足AI市場的巨大需求,搶占人工智能時代半導體市場的制高點。
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來源:紅網(wǎng)
作者:止丹溪
編輯:張惠忠
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