SICRIUSPY302系列設(shè)備已通過(guò)多家晶圓廠嚴(yán)格驗(yàn)證，在先進(jìn)邏輯與存儲(chǔ)芯片制造中實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。

近日，北方華創(chuàng)正式發(fā)布SICRIUSPY302系列12英寸低壓化學(xué)氣相硅沉積立式爐設(shè)備。該設(shè)備面向高端邏輯芯片與存儲(chǔ)芯片領(lǐng)域非晶硅、多晶硅薄膜沉積技術(shù)，成功攻克高深寬比結(jié)構(gòu)填充、高平坦度薄膜生長(zhǎng)和兼容低溫工藝三大技術(shù)瓶頸，標(biāo)志著北方華創(chuàng)在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域持續(xù)取得關(guān)鍵技術(shù)突破。

在三維集成芯片制造成為主流的今天，堆疊層數(shù)的增加帶來(lái)了更高的深寬比要求，這使得垂直結(jié)構(gòu)填充面臨挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)填充工藝容易產(chǎn)生孔洞，從而導(dǎo)致器件失效。SICRIUSPY302系列設(shè)備通過(guò)其低壓反應(yīng)腔技術(shù)和多區(qū)獨(dú)立高精度溫控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了自下而上的無(wú)缺陷填充，確保了高臺(tái)階覆蓋率。這一技術(shù)突破為邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片等頭部企業(yè)的量產(chǎn)需求提供了堅(jiān)實(shí)保障。

在高端芯片柵極制造中，實(shí)現(xiàn)薄膜的高平坦度是一項(xiàng)關(guān)鍵挑戰(zhàn)。SICRIUSPY302系列設(shè)備采用全自主設(shè)計(jì)的全石英腔室與高精度溫度控制加熱器，結(jié)合氣體流場(chǎng)與熱場(chǎng)協(xié)同控制算法，將膜厚均勻性和表面粗糙度控制在原子級(jí)，顯著提升晶體管電性穩(wěn)定性。同時(shí)，該設(shè)備集成了多種硅源前驅(qū)體，并實(shí)現(xiàn)了原位清洗、原位刻蝕和多元素?fù)诫s等先進(jìn)工藝功能，從而大幅降低了器件的缺陷率。

目前，SICRIUSPY302系列設(shè)備已通過(guò)多家領(lǐng)先晶圓廠的嚴(yán)格驗(yàn)證，在先進(jìn)邏輯與存儲(chǔ)芯片制造中實(shí)現(xiàn)了規(guī)模量產(chǎn)，并持續(xù)獲得重復(fù)訂單，為半導(dǎo)體制造企業(yè)提供了高效、可靠的設(shè)備解決方案。

北方華創(chuàng)2024年薄膜沉積設(shè)備收入超100億元

薄膜沉積設(shè)備作為半導(dǎo)體制造的核心裝備，通過(guò)物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、外延生長(zhǎng)（EPI）、電化學(xué)沉積（ECP）及原子層沉積（ALD）等技術(shù)，在基底表面精準(zhǔn)構(gòu)筑納米級(jí)功能膜層，這些膜層在芯片中扮演重要的角色。根據(jù)權(quán)威機(jī)構(gòu)數(shù)據(jù)，2023年薄膜沉積設(shè)備在集成電路設(shè)備資本支出中的占比為22.1%。

2024年北方華創(chuàng)薄膜沉積設(shè)備收入超100億元，并且已經(jīng)形成了物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、外延和電鍍?cè)O(shè)備的全系列布局。

根據(jù)年度報(bào)告披露的信息，目前北方華創(chuàng)批量銷售的化學(xué)氣相沉積主要包括：

12英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲(chǔ)芯片氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多種高品質(zhì)介質(zhì)薄膜沉積，可滿足對(duì)鈍化層、隔離層、抗反射層、刻蝕停止層等多樣化的應(yīng)用需求。該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)高均勻性、高產(chǎn)能的薄膜沉積，工藝一致性更好、可靠性更高。

12英寸高密度等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備（HDPCVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲(chǔ)芯片介質(zhì)填充工藝。該設(shè)備通過(guò)同時(shí)進(jìn)行沉積和刻蝕的工藝方式，有效完成高深寬比溝槽的介質(zhì)填充，具備高沉積速率、優(yōu)異的填孔能力和高致密的薄膜質(zhì)量等優(yōu)勢(shì)。

12英寸低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備（LPCVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲(chǔ)芯片接觸孔和通孔填充。該設(shè)備通過(guò)精確的溫度、氣體脈沖時(shí)間和壓力控制，實(shí)現(xiàn)高深寬比結(jié)構(gòu)填充需求。

8英寸金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD）：主要用于功率、射頻、光電子、Micro-LED、高效光伏等器件中的外延生長(zhǎng)。

*聲明：本文系原作者創(chuàng)作。文章內(nèi)容系其個(gè)人觀點(diǎn)，我方轉(zhuǎn)載僅為分享與討論，不代表我方贊成或認(rèn)同，如有異議，請(qǐng)聯(lián)系后臺(tái)。

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規(guī)范化!銀行培訓(xùn)的第一跨步!

就像一支隊(duì)伍行軍打仗，正規(guī)軍與雜牌軍是有區(qū)別的。正規(guī)軍不僅有統(tǒng)一的著裝、統(tǒng)一的武器裝備、統(tǒng)一的口號(hào)，甚至還有相同的軍令軍紀(jì)_|。雜牌軍剛完全不同，沒(méi)有統(tǒng)一的著裝，甚至連統(tǒng)一的口號(hào)、統(tǒng)一的身份都沒(méi)有，軍令軍規(guī)更是無(wú)從談起||。有人問(wèn)：“雜牌軍能夠變成正規(guī)軍嗎？”答案是肯定的-——。經(jīng)過(guò)科學(xué)管理，雜牌軍完全可以變成一支紀(jì)律嚴(yán)明 可以說(shuō)，系統(tǒng)性思維作為一種結(jié)構(gòu)化的全局思維方式，對(duì)于智能駕駛這類復(fù)雜系統(tǒng)工程，是非常適用且必要的——。對(duì)于長(zhǎng)期主義的玩家來(lái)說(shuō)，長(zhǎng)久且穩(wěn)定地保持智能駕駛產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力和市場(chǎng)份額，一定是系統(tǒng)性思維主導(dǎo)開發(fā)的結(jié)果；并且，系統(tǒng)性思維，也是一家“正規(guī)軍”區(qū)別于“雜牌軍”的重要標(biāo)志-_。

未來(lái)五年,輔警職業(yè)或?qū)⒂瓉?lái)五大變革

長(zhǎng)期困擾輔警的"雜牌軍"形象將徹底改變。自2022年上海率先實(shí)施輔警統(tǒng)一授證換標(biāo)后，全國(guó)范圍內(nèi)的標(biāo)識(shí)統(tǒng)一工作正在加速推進(jìn)|-。未來(lái)輔警將統(tǒng)一配發(fā)包含唯一編號(hào)的工作證，服裝采用與人民警察相區(qū)別但辨識(shí)度更高的設(shè)計(jì)，胸徽、肩章等標(biāo)識(shí)將體現(xiàn)層級(jí)和崗位特征|。這種標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)帶來(lái)多重效益：一是顯著提升公眾辨識(shí)度，上海靜安等我繼續(xù)說(shuō)-。
另外還有一種情況是，很多投敵的國(guó)軍部隊(duì)（雜牌軍居多）聲稱是以“曲線救國(guó)”的名義奉命投敵的——_。這個(gè)程度到底有多大不好說(shuō)，但這些投敵后的偽軍基本不跟國(guó)軍作戰(zhàn)卻是事實(shí)?？箲?zhàn)勝利后，除被我軍消滅的偽軍外，其在冊(cè)數(shù)尚有六七十萬(wàn)人之多（不含偽警備隊(duì)等），其中國(guó)軍正規(guī)軍投敵者有254300人，地方軍投敵者126900希望你能滿意-_。