時(shí)刻新聞
城芳芳
SICRIUSPY302系列設(shè)備已通過(guò)多家晶圓廠嚴(yán)格驗(yàn)證，在先進(jìn)邏輯與存儲(chǔ)芯片制造中實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。
近日，北方華創(chuàng)正式發(fā)布SICRIUSPY302系列12英寸低壓化學(xué)氣相硅沉積立式爐設(shè)備。該設(shè)備面向高端邏輯芯片與存儲(chǔ)芯片領(lǐng)域非晶硅、多晶硅薄膜沉積技術(shù)，成功攻克高深寬比結(jié)構(gòu)填充、高平坦度薄膜生長(zhǎng)和兼容低溫工藝三大技術(shù)瓶頸，標(biāo)志著北方華創(chuàng)在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域持續(xù)取得關(guān)鍵技術(shù)突破。
在三維集成芯片制造成為主流的今天，堆疊層數(shù)的增加帶來(lái)了更高的深寬比要求，這使得垂直結(jié)構(gòu)填充面臨挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)填充工藝容易產(chǎn)生孔洞，從而導(dǎo)致器件失效。SICRIUSPY302系列設(shè)備通過(guò)其低壓反應(yīng)腔技術(shù)和多區(qū)獨(dú)立高精度溫控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了自下而上的無(wú)缺陷填充，確保了高臺(tái)階覆蓋率。這一技術(shù)突破為邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片等頭部企業(yè)的量產(chǎn)需求提供了堅(jiān)實(shí)保障。
在高端芯片柵極制造中，實(shí)現(xiàn)薄膜的高平坦度是一項(xiàng)關(guān)鍵挑戰(zhàn)。SICRIUSPY302系列設(shè)備采用全自主設(shè)計(jì)的全石英腔室與高精度溫度控制加熱器，結(jié)合氣體流場(chǎng)與熱場(chǎng)協(xié)同控制算法，將膜厚均勻性和表面粗糙度控制在原子級(jí)，顯著提升晶體管電性穩(wěn)定性。同時(shí)，該設(shè)備集成了多種硅源前驅(qū)體，并實(shí)現(xiàn)了原位清洗、原位刻蝕和多元素?fù)诫s等先進(jìn)工藝功能，從而大幅降低了器件的缺陷率。
目前，SICRIUSPY302系列設(shè)備已通過(guò)多家領(lǐng)先晶圓廠的嚴(yán)格驗(yàn)證，在先進(jìn)邏輯與存儲(chǔ)芯片制造中實(shí)現(xiàn)了規(guī)模量產(chǎn)，并持續(xù)獲得重復(fù)訂單，為半導(dǎo)體制造企業(yè)提供了高效、可靠的設(shè)備解決方案。
北方華創(chuàng)2024年薄膜沉積設(shè)備收入超100億元
薄膜沉積設(shè)備作為半導(dǎo)體制造的核心裝備，通過(guò)物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、外延生長(zhǎng)（EPI）、電化學(xué)沉積（ECP）及原子層沉積（ALD）等技術(shù)，在基底表面精準(zhǔn)構(gòu)筑納米級(jí)功能膜層，這些膜層在芯片中扮演重要的角色。根據(jù)權(quán)威機(jī)構(gòu)數(shù)據(jù)，2023年薄膜沉積設(shè)備在集成電路設(shè)備資本支出中的占比為22.1%。
2024年北方華創(chuàng)薄膜沉積設(shè)備收入超100億元，并且已經(jīng)形成了物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、外延和電鍍?cè)O(shè)備的全系列布局。
根據(jù)年度報(bào)告披露的信息，目前北方華創(chuàng)批量銷(xiāo)售的化學(xué)氣相沉積主要包括：
12英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲(chǔ)芯片氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多種高品質(zhì)介質(zhì)薄膜沉積，可滿足對(duì)鈍化層、隔離層、抗反射層、刻蝕停止層等多樣化的應(yīng)用需求。該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)高均勻性、高產(chǎn)能的薄膜沉積，工藝一致性更好、可靠性更高。
12英寸高密度等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備（HDPCVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲(chǔ)芯片介質(zhì)填充工藝。該設(shè)備通過(guò)同時(shí)進(jìn)行沉積和刻蝕的工藝方式，有效完成高深寬比溝槽的介質(zhì)填充，具備高沉積速率、優(yōu)異的填孔能力和高致密的薄膜質(zhì)量等優(yōu)勢(shì)。
12英寸低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備（LPCVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲(chǔ)芯片接觸孔和通孔填充。該設(shè)備通過(guò)精確的溫度、氣體脈沖時(shí)間和壓力控制，實(shí)現(xiàn)高深寬比結(jié)構(gòu)填充需求。
8英寸金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD）：主要用于功率、射頻、光電子、Micro-LED、高效光伏等器件中的外延生長(zhǎng)。
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“三圣”在儒釋道三教中,分別指的是哪幾位圣人?
南宋淳熙年間，杭州西湖畔的靈隱寺內(nèi)梵音陣陣，香煙繚繞_-。這座千年古剎正在舉辦一場(chǎng)前所未有的三教辯論大會(huì)，來(lái)自儒釋道三家的頂尖學(xué)者齊聚一堂，要為"三教異同"這個(gè)千古難題尋找答案-。主持這場(chǎng)辯論的，是當(dāng)時(shí)德高望重的靈隱寺方丈慧明禪師|。他年逾古稀，雙目有神，雖是僧人，卻對(duì)儒道兩家典籍了如指掌_。左側(cè)坐著到此結(jié)束了？。
封建王朝最后一個(gè)圣人,將儒釋道融合開(kāi)創(chuàng)心學(xué),人如何才能超脫?
人是復(fù)雜的，儒釋道三家對(duì)人的分類(lèi)看法有什么不同？文：枯木社會(huì)是由不同的人構(gòu)成的，并且每個(gè)人都不相同-。人是復(fù)雜的，不同的遺傳基因，以及不同的教育、傳統(tǒng)、信仰、習(xí)俗、經(jīng)歷、價(jià)值觀等環(huán)境影響，形成一個(gè)個(gè)形形色色的人，從而組成我們現(xiàn)在這個(gè)社會(huì)。關(guān)于人的研究，可以說(shuō)從人類(lèi)誕生以來(lái)就沒(méi)有停止過(guò)，人類(lèi)后面會(huì)介紹。
盤(pán)點(diǎn)中國(guó)歷史上的“圣人”,知道一半以上就是歷史達(dá)人
眾所周知，中國(guó)人受儒、釋、道的影響都非常深-。唐朝以來(lái)，三家有了合流的趨勢(shì)，這以后，很多高人都是儒釋道兼修_。其中的代表性人物，如唐朝的李世民、宋朝的蘇東坡，明朝的王陽(yáng)明，清朝的曾國(guó)藩等等，名單還可以列出一長(zhǎng)串來(lái)|。最逗的是朱熹大師，他作為儒家的圣人，居然偷偷地研究道家的《周易參同契》，還化名“..
來(lái)源：紅網(wǎng)
作者：王威睿
編輯：李麗珠
本文為紅辣椒評(píng)論 原創(chuàng)文章，僅系作者個(gè)人觀點(diǎn)，不代表紅網(wǎng)立場(chǎng)。轉(zhuǎn)載請(qǐng)附原文出處鏈接和本聲明。