SICRIUSPY302系列設(shè)備已通過多家晶圓廠嚴(yán)格驗證，在先進(jìn)邏輯與存儲芯片制造中實現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。

近日，北方華創(chuàng)正式發(fā)布SICRIUSPY302系列12英寸低壓化學(xué)氣相硅沉積立式爐設(shè)備。該設(shè)備面向高端邏輯芯片與存儲芯片領(lǐng)域非晶硅、多晶硅薄膜沉積技術(shù)，成功攻克高深寬比結(jié)構(gòu)填充、高平坦度薄膜生長和兼容低溫工藝三大技術(shù)瓶頸，標(biāo)志著北方華創(chuàng)在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域持續(xù)取得關(guān)鍵技術(shù)突破。

在三維集成芯片制造成為主流的今天，堆疊層數(shù)的增加帶來了更高的深寬比要求，這使得垂直結(jié)構(gòu)填充面臨挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)填充工藝容易產(chǎn)生孔洞，從而導(dǎo)致器件失效。SICRIUSPY302系列設(shè)備通過其低壓反應(yīng)腔技術(shù)和多區(qū)獨立高精度溫控系統(tǒng)，實現(xiàn)了自下而上的無缺陷填充，確保了高臺階覆蓋率。這一技術(shù)突破為邏輯芯片和存儲芯片等頭部企業(yè)的量產(chǎn)需求提供了堅實保障。

在高端芯片柵極制造中，實現(xiàn)薄膜的高平坦度是一項關(guān)鍵挑戰(zhàn)。SICRIUSPY302系列設(shè)備采用全自主設(shè)計的全石英腔室與高精度溫度控制加熱器，結(jié)合氣體流場與熱場協(xié)同控制算法，將膜厚均勻性和表面粗糙度控制在原子級，顯著提升晶體管電性穩(wěn)定性。同時，該設(shè)備集成了多種硅源前驅(qū)體，并實現(xiàn)了原位清洗、原位刻蝕和多元素?fù)诫s等先進(jìn)工藝功能，從而大幅降低了器件的缺陷率。

目前，SICRIUSPY302系列設(shè)備已通過多家領(lǐng)先晶圓廠的嚴(yán)格驗證，在先進(jìn)邏輯與存儲芯片制造中實現(xiàn)了規(guī)模量產(chǎn)，并持續(xù)獲得重復(fù)訂單，為半導(dǎo)體制造企業(yè)提供了高效、可靠的設(shè)備解決方案。

北方華創(chuàng)2024年薄膜沉積設(shè)備收入超100億元

薄膜沉積設(shè)備作為半導(dǎo)體制造的核心裝備，通過物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、外延生長（EPI）、電化學(xué)沉積（ECP）及原子層沉積（ALD）等技術(shù)，在基底表面精準(zhǔn)構(gòu)筑納米級功能膜層，這些膜層在芯片中扮演重要的角色。根據(jù)權(quán)威機(jī)構(gòu)數(shù)據(jù)，2023年薄膜沉積設(shè)備在集成電路設(shè)備資本支出中的占比為22.1%。

2024年北方華創(chuàng)薄膜沉積設(shè)備收入超100億元，并且已經(jīng)形成了物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、外延和電鍍設(shè)備的全系列布局。

根據(jù)年度報告披露的信息，目前北方華創(chuàng)批量銷售的化學(xué)氣相沉積主要包括：

12英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲芯片氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多種高品質(zhì)介質(zhì)薄膜沉積，可滿足對鈍化層、隔離層、抗反射層、刻蝕停止層等多樣化的應(yīng)用需求。該設(shè)備可實現(xiàn)高均勻性、高產(chǎn)能的薄膜沉積，工藝一致性更好、可靠性更高。

12英寸高密度等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備（HDPCVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲芯片介質(zhì)填充工藝。該設(shè)備通過同時進(jìn)行沉積和刻蝕的工藝方式，有效完成高深寬比溝槽的介質(zhì)填充，具備高沉積速率、優(yōu)異的填孔能力和高致密的薄膜質(zhì)量等優(yōu)勢。

12英寸低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備（LPCVD）：主要用于12英寸邏輯、存儲芯片接觸孔和通孔填充。該設(shè)備通過精確的溫度、氣體脈沖時間和壓力控制，實現(xiàn)高深寬比結(jié)構(gòu)填充需求。

8英寸金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD）：主要用于功率、射頻、光電子、Micro-LED、高效光伏等器件中的外延生長。

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大理寺廚子剛正不阿,把少卿都給餓脫毛了,貓爺:就喜歡這樣的...

然而，大理寺的主廚菜疏是一個剛正不阿的男人，大理寺的公務(wù)員們吃素，當(dāng)領(lǐng)導(dǎo)的要比大家吃得更素才行——。大理寺食堂的員工餐有蕓豆、豆腐、蓮藕等各種花樣，李餅的小跟班陳拾去打飯，每次都只能領(lǐng)到蘿卜。同樣是素菜，少卿的花色更單一，這才能證明菜疏不諂媚領(lǐng)導(dǎo)-——。李餅不愛吃蘿卜，讓陳拾去提意見，要求菜疏多放肉 陳拾詢問大理寺位置時，有人忍不住想勸他不要過去，但卻被士兵嚇了回去，從圍觀群眾反應(yīng)可以看出，當(dāng)時草木皆兵的政治環(huán)境。大理寺食堂，這道秋葵豆腐湯似乎有點穿幫，一個是秋葵，雖然我國人民吃葵菜的傳統(tǒng)很長，在唐代葵菜的地位堪比如今北方的大白菜。但是，唐代吃的葵菜和現(xiàn)在的秋葵并不是一種東西，唐代的葵菜是什么。

《大理寺日志》:貓咪斷案如神,究竟用了什么法寶??？喵喵說動漫

被嚇了一跳之后，畫面又重新恢復(fù)了寧靜祥和。大理寺食堂里的日常真的非常有趣了-。想想也是很接地氣了，看來大理寺的公務(wù)員也和我們普通的社畜們一樣，吃飯時間都是用來閑聊和八卦的呢。不過在這里的日常中，再次鋪墊了王七的搞怪好奇八卦的性格，也鋪墊了孫豹怕鬼迷信的性格，后續(xù)故事的展開相信也一定很精彩了。接好了吧！
而在《大理寺日志》里，因為大理寺食堂每天提供都提供蘿卜，堂堂少卿大人作為一只貓每天都只能吃蘿卜……那貓貓能吃蘿卜嗎？ 貓爺吃蘿卜都吃膩了（圖源：大理寺日志） 但是其實貓的消化系統(tǒng)并不適合來消化這些植物類食物||。貓科動物本身就是以肉食為主的，而剛剛提到的一些物質(zhì)主要也是來自于肉類，所以如果每天吃蘿卜的還有呢？